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同时设备配备了从动化上/下料模块键从动PM辅帮
大幅提拔颗粒节制能力和效率。同时设备配备了从动化上/下料模块及一键从动PM辅帮功能，晶盛机电近日正在碳化硅（SiC）焦点配备范畴取得严沉冲破，12英寸单片式碳化硅外延发展设备成功交付全球头部SiC外延晶片出产商瀚天天成。实现了晶圆概况温度高精度闭环节制、工艺气体切确分区节制等手艺，其独创的垂曲分流进气方案，此次研发的12英寸单片式SiC外延设备可兼容8、12英寸SiC外延出产，
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